SMI (Silicon Microstructures, Inc.), eine Tochtergesellschaft der Elmos, präsentiert zwei neue Sensor Familien basierend auf dem erfolgreichen SM95 Sensor Chip, dem Vorzeigeprodukt im Niederdruckbereich. Die SM9D/G-Familien bestehen aus Niedrigdrucksensoren im SO16-Gehäuse, die ihre Signale direkt ausgeben und weder kompensieren noch verstärken. Das SO16-Gehäuse ermöglicht eine hochvolumige Montage analog zu den bereits millionenfach eingesetzten SM95-Sensoren mit vollständig kompensierter und digitaler Signalverarbeitung.
Die neuen Sensoren besitzen einen Betriebstemperaturbereich von -40°C bis +85°C. Des Weiteren sind sie nach AEC-Q100 zertifiziert. Bei der Auswahl der Gehäuse stehen folgende Port-Varianten zur Verfügung: zwei vertikale Ports für einen möglichst kleinen Bauraum, zwei horizontale Ports für eine niedriges Profil oder einen einzigen vertikalen Port für Relativdruckmessungen. Die Dual-Port-Versionen ermöglichen es, den Druck von der Rückseite des MEMS-Sensors zu messen, um dabei die elektrischen Bauteile vor aggressiven Medien zu schützen. Es stehen drei Druckbereiche zur Verfügung, die von 10 cm H2O (0,15 psi)bis 100 cm H2O (1,5psi) reichen. Die Drucksensoren werden typischerweise mit 3,3 oder 5 Volt betrieben.
Die Entwicklung der Sensoren durch ein FEA-unterstütztes, elektromechanisches Design sowie eine eigene Produktion basierend auf modernste MEMS-Verarbeitung ermöglichen eine hohe Qualität bei einer einfachen Integration in vielen medizinischen und industriellen Anwendungen. „SMI hat sich einen Ruf als Weltmarktführer bei Niederdrucksensoren erarbeitet und steht für hohe Stabilität und Genauigkeit bei industriellen und medizinischen Anwendungen“, sagt Omar Abed, SMI-CEO. „Die Produktlinien SM9D und SM9G erbringen eine hohe Leistung für Kunden, die eine unkompensierte Niedrigdrucklösung suchen, um eine hohe Auflösung, eine hohe Genauigkeit oder eine kundenspezifische Kalibrierung für spezifische Anwendungen zu realisieren.“
SMI ist eine Tochtergesellschaft der Elmos Semiconductor AG. SMI ist nach ISO / TS 16949: 2009 zertifiziert und ein führender Entwickler und Hersteller von MEMS-basierten Drucksensoren für unterschiedliche Märkte. Das Unternehmen verfügt über 25 Jahre Erfahrung in der Entwicklung und Produktion von Drucksensoren. SMI bietet die empfindlichsten und kleinsten MEMS-Drucksensoren, die derzeit weltweit erhältlich sind.